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文档序号:9843007
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本发明涉及一种光学装置。在用针孔或者狭缝限制检测光量的透射型的扫描光学显微镜光学装置中,实现不扫描观察试样而扫描光束的方法。将透过了观察试样(202)的来自光束扫描机构(263)的扫描光聚集到反射板(210)上,再次返回到观察试样(202)...
该专利属于日立视听媒体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日立视听媒体股份有限公司授权不得商用。
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