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本发明提供一种光栅取样参数检测装置，光源发出的测量光经小口径汇聚透镜和滤光孔后形成球面点光源，然后入射至光栅，透过光栅的测量光束被汇聚大透镜准直后经软边光阑垂直入射至平面镜反射，被平面镜反射的测量光按原路返回至光栅刻蚀面，再经光栅刻蚀面衍射...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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