下载预烧结半导体芯片结构的技术资料

文档序号:9838771

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将半导体芯片和干烧结料抵压在基片上形成一种烧结连接,所述干烧结料位于基片和半导体芯片之间,该干烧结料具有烧结颗粒和溶剂。在半导体芯片被压在基片上时,将基片加热至低于干烧结料的烧结温度,以在相邻烧结颗粒间形成局部烧结连接。局部烧结连接在烧结之...
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