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标尺、编码器、透镜装置以及图像拾取系统制造方法及图纸
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下载标尺、编码器、透镜装置以及图像拾取系统的技术资料
文档序号:9836781
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本发明涉及标尺、编码器、透镜装置以及图像拾取系统。标尺(20)具有多个图案以在空间上调制能量分布,所述标尺包括在移动方向上具有第一调制周期的第一图案、以及在移动方向上具有与第一调制周期不同的第二调制周期的第二图案,第一图案与第二图案之间的相...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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