下载用于低相干干涉测量的扫描设备的技术资料

文档序号:9832434

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给出了一种利用光学相干断层摄影进行样品的横向扫描的系统。低相干干涉测量系统包括第一多路复用单元和第二多路复用单元。第一多路复用单元配置为接收第一辐射束并且包括第一多个光延迟元件,第一多个光延迟元件配置为基于由第一辐射束在第一多个光波导当中穿...
该专利属于梅德路米克斯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过梅德路米克斯有限公司授权不得商用。

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