下载一种多晶硅铸锭炉的技术资料

文档序号:9831324

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本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括:炉体、经过所述炉体底部的冷却水夹层、以及分别与所述冷却水夹层连通的冷却水进水口和冷却水出水口,其中,在所述冷却水进水口和冷却水出水口处分别设有三通阀用于导入或导出冷却水,并可连接外部大气,在所述炉体底部设...
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