下载双槽式多晶硅片制绒方法的技术资料

文档序号:9828530

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本发明公开了一种双槽式多晶硅片制绒方法,其特征在于,采用两个制绒槽对多晶硅片进行制绒,两槽中的溶液为硝酸和氢氟酸的混酸溶液:1)在第一个制绒槽内增加制绒添加剂进行预制绒;2)在第二个制绒槽内通过鼓泡工艺再制绒。本发明通过双槽制绒工序,使制绒...
该专利属于常州时创能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州时创能源科技有限公司授权不得商用。

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