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本发明涉及硅片生产领域，尤其涉及一种用于将硅片花篮转向的旋转机构。该旋转机构包括由支架支撑的旋转单元以及由旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元，其中，所述旋转单元为旋转气缸。本发明提供的旋转机构通过旋转气缸的转动来带动传输单元以及位于传输单...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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