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共布线微电极阵列芯片及其制备方法技术
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文档序号:9822100
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本发明公开了一种共布线微电极阵列芯片及其制备方法;该微电极阵列芯片的微电极阵列结构层包括以光栅阵列结构排布的若干微电极以及叠加在所述光栅阵列上的呈点状阵列结构排布的若干微电极。本发明的芯片利用共布线原理和光刻套刻技术,采用具有光栅阵列结构的...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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