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本发明包括用于在衬底上印刷图案的方法和设备。所述方法包括：采集具有多个印刷轨迹的衬底表面的图像；以及识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分的位置。所述方法进一步包括：通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于调整参数...
该专利属于应用材料意大利有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料意大利有限公司授权不得商用。

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