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研磨方法及研磨装置制造方法及图纸
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文档序号:9818334
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本发明提供一种研磨方法及研磨装置,在晶片等衬底的研磨中或研磨前,根据研磨垫的弹性模量来调整研磨条件。研磨装置通过使衬底(W)和研磨垫(22)相对移动来研磨衬底(W)。弹性模量测定器(110)测定研磨垫(22)的弹性模量,研磨条件调整部(47...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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