下载一种全自动槽式化学镀设备的技术资料

文档序号:9803816

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本实用新型涉及一种应用于晶硅光伏电池生产的全自动槽式化学镀设备,属于晶硅光伏电池生产的化学镀设备技术领域。设备采用了化学镀方法及槽式的设计方案。设备的工艺槽体配备了循环系统、加热系统、过滤系统;加热系统设置在独立于工艺槽体之外的储液箱内;工...
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