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本发明描述一种工艺的实施例，其包含：在一材料的衬底的表面上图案化一个或一个以上反射器，所述表面相对于所述材料的(100)结晶平面以选定角度定向；及在所述表面中蚀刻一个或一个以上反射器，每一反射器包含由所述材料的(111)结晶平面形成的一个或...
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