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单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法技术
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文档序号:9797887
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本发明是一种单晶硅提拉用二氧化硅容器,具有直筒部、弯曲部及底部,其特征在于,前述二氧化硅容器的外侧是由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成,前述二氧化硅容器的内侧是由实质上不含气泡的透明二氧化硅玻璃所构成;于前述底部的内表面,形成厚度20μm...
该专利属于信越石英株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越石英株式会社授权不得商用。
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