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本发明公开了一种TCO（透明导电氧化物）薄膜及其制备方法。该TCO薄膜由下至上包括三层含有掺杂物的氧化锌薄膜层，且每层氧化锌薄膜层中掺杂物在氧化锌中的原子比例各不相同。该制备方法在薄膜生长过程中通过调节掺杂气体流量，形成中间和界面不同掺杂浓...
该专利属于湖南共创光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南共创光伏科技有限公司授权不得商用。

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