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本发明提供一种LED晶圆片测试方法及测试系统,该测试系统包括依次相连的标准抽测机、LED晶圆片扫描图模板单元、标准抽测机扫描图模板设定单元、标准抽测机套模测试单元、抽测标准数据档单元、待测LED晶圆片校正函数单元、监控单元和分析处理单元;依...该专利属于西安神光皓瑞光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安神光皓瑞光电科技有限公司授权不得商用。
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