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本发明提出了一种在Si基衬底上制备高(110)取向非极性氧化锌薄膜的方法，以Si为衬底，ZnO靶材作为锌源和氧源，Ar为工作气体，O2为反应气体，采用磁控溅射法，通过控制真空度小于8×10-4Pa，生长温度为100～400℃，同时通入一定比...
该专利属于北方工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北方工业大学授权不得商用。

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