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本发明涉及高纯安全气体源的制备方法，在充满惰性气体环境中，将金属或金属前驱体加入装有吸附剂的钢瓶之中，在惰性气体环境或真空环境下，使金属成分均匀分布在吸附剂中并将其活化为对于气体杂质具有化学活性的物质，真空脱气后将高纯气体充装于钢瓶内。工艺...
该专利属于苏州丹百利电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州丹百利电子材料有限公司授权不得商用。

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