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本实用新型公开了一种玻璃基板真空传送系统。所述真空传送系统包括真空腔体和位于真空腔体内的滚道，装在真空腔体内的用于装载玻璃基板的基板装载小车，驱动该基板装载小车在所述滚道上移动且位于真空腔体外侧的驱动装置；所述驱动装置的传动轴通过至少一个传...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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