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具有生长于硅基板上的低缺陷N型层的发光二极管制造技术
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下载具有生长于硅基板上的低缺陷N型层的发光二极管的技术资料
文档序号:9770003
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一种竖直的基于GaN的蓝光LED具有n型GaN层,n型GaN层直接生长于低电阻层(LRL)上,而低电阻层(LRL)生长于硅基板之上。在一个范例中,LRL为具有厚度小于300nm的周期的低方块电阻GaN/AlGaN超晶格。在超晶格上生长n型G...
该专利属于东芝技术中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东芝技术中心有限公司授权不得商用。
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