下载采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器的技术资料

文档序号:9767556

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本申请公开了一种采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器,其包括依次设置的MEMS反射镜(8)、光栅(6)、第一光束准直透镜(2)、半导体光增益器件(1)、第二光束准直透镜(3)、光隔离器(4),其中,所述半导体光增益器件(1)、第一光束准...
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