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一种带电场补偿的冷阴极三极管制造技术
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文档序号:9766904
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本发明公开了一种带电场补偿的冷阴极三极管,包括阴极、阳极和栅极,所述阴极包括阴极基板和制作在阴极基板表面上的场发射冷阴极,所述栅极设置在阴极和阳极之间,在栅极上设置有与场发射冷阴极对应的栅孔;所述阴极基板表面为相对栅极具有凸出弧度的结构。本...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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