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一种刀片状微探针结构及其制作方法，该方法包含电镀种子层形成步骤、第一刀片状结构制作步骤、第二刀片状结构制作步骤、去除光阻步骤以及载板及电镀种子层移除步骤，首先在载板上形成电镀种子层，接着分别以形成图案化光阻层、电镀及研磨的方式形成第一刀片状...
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