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一种基于有机薄膜晶体管二氧化硫气体传感器的制备方法技术
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下载一种基于有机薄膜晶体管二氧化硫气体传感器的制备方法的技术资料
文档序号:9764588
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本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管二氧化硫气体传感器的制备方法,包括以下步骤:先对衬底进行彻底的清洗,清洗后干燥;在衬底的表面制备栅电极,形成栅电极的图形;在镀有栅电极的基板的上制备介电层;对形成的介电层进行极性溶剂处理;在已形成栅电极,以...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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