下载一种还原同时实现氮掺杂的氧化石墨烯微结构的激光加工方法的技术资料

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一种还原同时实现氮掺杂的氧化石墨烯微结构的激光加工方法,属于微纳制造技术领域。其首先在衬底上制备氧化石墨烯薄膜,然后在氧化石墨烯薄膜上制作提供加工气氛的微腔,最后在NH3条件下,利用搭建的激光微纳加工系统对氧化石墨烯进行激光直写加工,获得还...
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