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一种制造用于生产定制的光学表面的模型的方法,由此修改具有基本形状的模型(1,2)以获得所需模型的形状。通过光刻方法执行该修改,该光刻方法包括给模型表面涂上光致抗蚀剂层(16)、将该层曝光于曝光辐射(9)的预定图案和显影该曝光层,由此移除该层...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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一种制造用于生产定制的光学表面的模型的方法,由此修改具有基本形状的模型(1,2)以获得所需模型的形状。通过光刻方法执行该修改,该光刻方法包括给模型表面涂上光致抗蚀剂层(16)、将该层曝光于曝光辐射(9)的预定图案和显影该曝光层,由此移除该层...