下载一种多晶硅铸锭炉用安全防爆装置的技术资料

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一种多晶硅铸锭炉用安全防爆装置,包括和多晶硅铸锭炉炉室腔体相连的主管道,安装在主管道密封槽内的O型圈,通过销轴连接在主管道上的阀盖,在销轴位于阀盖的端部处设置有垫片;在多晶硅铸锭炉正常运行过程中,阀盖依靠自身重力压紧O型圈使整个主管道处于密...
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