下载一种用于制备半导体膜的化学浴沉积设备的技术资料

文档序号:9741515

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本发明提供了用于在平面衬底上制备薄膜的化学浴沉积方法和设备。具体地,它们对于沉积硫化镉或硫化锌以制造薄膜太阳能电池是尤其有用的。本方法及其沉积系统将薄膜沉积于由传送带所传送的垂直行进的平面衬底上。通过连续地喷淋从新鲜混合类型到逐渐老化形式的...
该专利属于王家雄所有,仅供学习研究参考,未经过王家雄授权不得商用。

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