下载切断脆性构件的装置、方法以及被切断的脆性构件的技术资料

文档序号:9740956

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切断如玻璃一样的脆性构件的装置具备:构成为使激光通过第一空间照射上述构件上的第一区域的激光振荡器;构成为向与上述第一区域不同的第二区域喷射冷却介质的冷却喷嘴;挡板,其配置为相对于上述构件具有空隙且设置成不包围上述第一空间的状态,以使来自上述...
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