下载微悬臂梁弹性常数的溯源标定装置及溯源方法的技术资料

文档序号:9738272

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本发明提供一种微悬臂梁弹性常数溯源标定装置,所述溯源标定装置的结构包括有大理石框架、纳米天平、微悬臂梁、三维微纳位移台、力加载杆、偏振差分干涉仪、仪器控制器、计算机与测控软件。同时提供一种微悬臂梁弹性常数的溯源标定装置的溯源方法。本发明的效...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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