下载用于检测圆柱体外表面的光学干涉仪的技术资料

文档序号:9738116

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本发明公开一种用于检测柱体外表面的光学干涉仪,聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合;所述分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间,用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束;所述标准平晶位于准直凸透...
该专利属于苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园所有,仅供学习研究参考,未经过苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园授权不得商用。

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