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本发明公开了一种氢化物气相外延（HVPE）喷头设计，更具体地是提供了一种用于控制前驱物流场的控制棒。在一立式HVPE生长系统的前驱物通道中，所述控制棒包括始段圆环结构，中段实心圆柱体，末段控制端，所述三段同轴。所述圆环结构分为内外两侧，并包...
该专利属于东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学授权不得商用。

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