下载一种用于摆片研磨抛光的卡具的技术资料

文档序号:9733618

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本实用新型公开了一种用于摆片研磨抛光的卡具,其包括:基座,基座上表面中心设有一圆槽,基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面;开有至少一个用于容纳摆片的圆孔的摆片固定板;其贴合固定在基座的下表面;摆片固定板上的圆孔的边缘还具有一个U型缺口;内...
该专利属于中国建筑材料科学研究总院所有,仅供学习研究参考,未经过中国建筑材料科学研究总院授权不得商用。

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