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本实用新型提供一种新型的四氯化硅汽化装置，包括静态混合器、汽化器，汽化器壳体上设有混合物料进口，该进口为插入管型式，内伸到汽化器中加热管的下方，并在插入管上开有分布孔。经静态混合器混合后的物料由混合物料进口进入汽化器，氢气在四氯化硅液相中鼓...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。

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