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电流孔径垂直电子晶体管制造技术
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文档序号:9721876
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一种电流孔径垂直电子晶体管(CAVET),其具有基于氨(NH3)的分子束外延(MBE)生长的p型氮化镓(p-GaN)作为电流阻挡层(CBL)。具体地,所述CAVET特征在于用于电流阻挡目的的有源掩埋的镁(Mg)掺杂的GaN层。这种结构对高功...
该专利属于加利福尼亚大学董事会所有,仅供学习研究参考,未经过加利福尼亚大学董事会授权不得商用。
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