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一种工艺电解质补给模块，其适于在具有第一阳极和第一阴极的基底电化学沉积设备中补给工艺电解质中的离子，所述工艺电解质补给模块具有第二阳极。所述工艺电解质补给模块具有从化学沉积设备偏置的框。工艺电解质再循环隔室设置在所构造的框中，其配置为使得工...
该专利属于东京毅力科创尼克斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创尼克斯公司授权不得商用。

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