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清洗装置制造方法及图纸
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文档序号:9721140
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该清洗装置具有:旋转保持部(2),其保持清洗对象物(15)并使其旋转;清洗液喷射部(7),其朝被所述旋转保持部(2)保持的所述清洗对象物(15)上的点状的清洗区域(S)喷射清洗液;清洗区域移动部(6),其使所述旋转保持部(2)和所述清洗液喷...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。
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