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本发明公开了一种薄膜体波谐振器及提高其品质因数的方法，其中，该薄膜体波谐振器包括：第一电极；压电层，位于第一电极上方；第二电极，位于压电层上方；其中，第二电极与第一电极之间具有至少一间隙，间隙的至少部分覆盖薄膜体波谐振器的有效区域，其中，有...
该专利属于诺思（天津）微系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思（天津）微系统有限公司授权不得商用。

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