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GPP二极管芯片生产工艺流程制造技术
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文档序号:9719579
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GPP二极管芯片生产工艺流程,涉及二极管芯片制造技术领域,在整个生产的过程中一定要遵循:清洗硅片—喷磷—一次分离—单面吹砂—涂硼—硅片扩散—二次分离—双面吹砂—光刻、刻蚀—清洗烘干—表面金属化—完成晶片的整个过程,特别对于光刻步骤需要将清洗...
该专利属于蚌埠天宇机械工具有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过蚌埠天宇机械工具有限公司授权不得商用。
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