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多晶硅还原尾气的处理方法和系统技术方案
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文档序号:9712732
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本发明公开了一种多晶硅还原尾气的处理方法和系统,该方法包括:将多晶硅还原尾气进行除尘处理,以便获得经过除尘的还原尾气;将所述经过除尘的还原尾气进行压缩处理,以便得到压缩后气;将压缩后气进行一系列冷却处理,以便得到冷凝液和经过冷却处理的压缩后...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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