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本实用新型提出一种焦面调整装置，包括工件台以及成像装置；成像装置设置在工件台上方；成像装置包括投影物镜、可控光学器件以及电控单元；可控光学器件设置在投影物镜内；可控光学器件与电控单元连接；添加可控光学器件在投影物镜与工件台之间，通过电控单元...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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