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本实用新型是一种钎焊烧结炉腔室抽真空装置。它主要包括两套并联的抽真空泵组。其中第I泵组为抽粗真空泵组，在低真空有烟尘污染的情况下使用，第II泵组为抽高真空泵组，在高真空少污染时使用。钎焊烧结炉工作过程中会出现固体颗粒、有害气体时，仅第I泵组...
该专利属于中国地质大学(北京)所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学(北京)授权不得商用。

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