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电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的装置制造方法及图纸
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文档序号:9704964
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本实用新型涉及一种电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的装置,包括炉体,其特征在于炉体内上部设置带有水冷的熔化坩埚,该熔化坩埚一侧带有凹形熔化池,熔化池口至熔化坩埚的另一侧为向下倾斜的导流区域;位于熔化坩埚上方的炉体顶部通连有熔化用电子枪和熔...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。
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