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一种微细精密加工刀具工作形貌在位检测装置及方法制造方法及图纸
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下载一种微细精密加工刀具工作形貌在位检测装置及方法的技术资料
文档序号:9688602
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本发明涉及一种微细精密加工刀具工作形貌在位检测装置及方法,图像获取装置安装在夹具上,夹具安装在机械手卡盘上,机械手卡盘安装在机械手上;环形光源安装在图像获取装置的端部,且环形光源的轴线与图像获取装置的轴线相互重合;背光光源、激光源和三棱镜光...
该专利属于东华大学所有,仅供学习研究参考,未经过东华大学授权不得商用。
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