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本实用新型公开了一种研磨垫整理器及研磨装置，所述研磨装置包括内研磨盘、环形的外研磨盘、内盘旋转电机、外盘旋转电机、内盘支撑架以及外盘支撑架，所述内盘支撑架的一端与所述内研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述内盘旋转电机连接，所述外盘支撑架...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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