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本实用新型涉及一种在硅片研磨中使用的硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容...
该专利属于常州市立威刀具有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州市立威刀具有限公司授权不得商用。

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