下载一种通过卷对卷过程制备半导体膜的化学浴沉积设备的技术资料

文档序号:9673165

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本发明提供了用于在连续柔性基板上在卷对卷过程中制备薄膜的化学浴沉积方法和系统。具体地,它们对于沉积硫化镉或硫化锌以制造薄膜太阳能电池是尤其有用的。本方法及其沉积系统将薄膜沉积于由卷对卷系统所传送的垂直行进的连续柔性工件上。通过连续地喷淋从新...
该专利属于王家雄所有,仅供学习研究参考,未经过王家雄授权不得商用。

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