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本发明公开了一种无残余层纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法。其步骤为：（1）对复合纳米压印模板表面进行防粘处理；（2）通过复合纳米压印模板图案的形貌及占空比的计算选择适当的涂胶厚度进行压印；（3）通过对纳米压印胶的匀胶速度、匀胶时间及压...
该专利属于无锡英普林纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡英普林纳米科技有限公司授权不得商用。

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