下载一种浮空电荷补偿MOS半导体装置及其制备方法的技术资料

文档序号:9669805

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本发明公开了一种浮空电荷补偿MOS半导体装置,在MOS器件漂移层中设置了浮空相异导电类型的半导体材料,形成电荷补偿结构,从而降低器件的导通电阻和制造难度;本发明还提供了一种浮空电荷补偿MOS半导体装置的制备方法。...
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