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本发明公开了一种平面栅型MOS管及其制造方法,包括:N型外延层或N型硅衬底中形成的P阱,P阱一侧的N型外延层或N型硅衬底中形成有N+注入层,P阱上部并列排布有多个彼此串联的MOS结构;所述MOS结构包括:形成在所述P阱上的栅氧化层,栅氧化层...该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种平面栅型MOS管及其制造方法,包括:N型外延层或N型硅衬底中形成的P阱,P阱一侧的N型外延层或N型硅衬底中形成有N+注入层,P阱上部并列排布有多个彼此串联的MOS结构;所述MOS结构包括:形成在所述P阱上的栅氧化层,栅氧化层...